强激光与粒子束2014，Vol.26Issue(5)：69-73,5.DOI:10.11884/HPLPB201426.051014
拼接干涉仪在控制装校面形中的应用
Application of stitching interferometer to controlling assembly distortion
叶海仙 1熊召 1曹庭分 1刘长春 1张亮 1易聪之1
作者信息
- 1. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900
- 折叠
摘要
关键词
子孔径拼接/象散/局部面形/装校监测/全口径面形Key words
sub-aperture stitching/astigmatism/local surface/assembly inspection/full-aperture surface分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
叶海仙,熊召,曹庭分,刘长春,张亮,易聪之..拼接干涉仪在控制装校面形中的应用[J].强激光与粒子束,2014,26(5):69-73,5.
