重庆工商大学学报（自然科学版）2014，Vol.31Issue(7)：85-89,96,6.
极紫外多层膜反射率的模拟计算与分析
Simulating Computation and Analysis of the Reflectance of Extreme Ultra-violet Multilayer
易子为 1曾涛 1孙翔 1程发银1
作者信息
- 1. 重庆工商大学计算机科学与信息工程学院,重庆400067
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摘要
关键词
极紫外多层膜/理想界面/反射率/模拟计算分类
数理科学引用本文复制引用
易子为,曾涛,孙翔,程发银..极紫外多层膜反射率的模拟计算与分析[J].重庆工商大学学报（自然科学版）,2014,31(7):85-89,96,6.
