真空电子技术Issue(4)：62-64,71,4.
微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究
A Study of Ultra-Nanocrystalline Diamond Films Grown by MPCVD
李莉莉 1丁明清 1杜英华 1蔡军 1胡银富 1冯进军1
作者信息
- 1. 微波电真空器件国家重点实验室,北京真空电子技术研究所,北京100015
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摘要
关键词
太赫兹/微波真空器件/微波等离子体化学气相沉积/超纳米晶金刚石Key words
THz/Microwave vacuum devices/MPCVD/Ultra-nanocrystalline diamond引用本文复制引用
李莉莉,丁明清,杜英华,蔡军,胡银富,冯进军..微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究[J].真空电子技术,2014,(4):62-64,71,4.
