真空电子技术Issue(5)：12-16,5.
MPCVD金刚石膜沉积技术及金刚石膜材料在微波电真空器件中的应用
High Quality Diamond Films Material and its Application in Microwave Vacuum Electronic Devices
唐伟忠 1丁明清 2李莉 2冯进军2
作者信息
- 1. 北京科技大学新材料技术研究院,北京100083
- 2. 北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家实验室,100015
- 折叠
摘要
关键词
微波等离子体法/金刚石膜/微波电真空器件Key words
MPCVD/Diamond films/Microwave vacuum electronic devices分类
数理科学引用本文复制引用
唐伟忠,丁明清,李莉,冯进军..MPCVD金刚石膜沉积技术及金刚石膜材料在微波电真空器件中的应用[J].真空电子技术,2014,(5):12-16,5.
