机械科学与技术2014，Vol.33Issue(10)：1463-1467,5.DOI:10.13433/j.cnki.1003-8728.2014.1005
压缩式气压纳米压印阻尼减振分析
Damping Vibration Analysis of Compressional Gas Cushion Press Nanoimprint Lithography
摘要
关键词
纳米压印/压缩式气压/阻尼减振/模型仿真/蜂窝型Key words
compressional gas cushion press/computer simulation/damping/data communication systems/finite element method/honeycomb structures/honeycomb-type/mathematical models/nanoimprint lithography/printing presses/serromotors/vibration analysis/v分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘超然,罗康,李天昊,夏委委,李冬雪,段智勇..压缩式气压纳米压印阻尼减振分析[J].机械科学与技术,2014,33(10):1463-1467,5.基金项目
国家自然科学基金项目(51175479)资助 （51175479）
