红外与毫米波学报2014，Vol.33Issue(5)：472-476,5.DOI:10.3724/SP.J.1010.2014.00472
InAs/GaSbⅡ类超晶格材料台面腐蚀
Mesa etching of type Ⅱ InAs/GaSb superlattice
摘要
关键词
半导体材料/InAs/GaSbⅡ类超晶格/MBE/ICP干法刻蚀/湿法腐蚀Key words
semiconductor material/type Ⅱ InAs/GaSb superlattice/MBE/ICP dry etch/wet-chemical etching分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张利学,孙维国,吕衍秋,张向锋,姚官生,张小雷,司俊杰..InAs/GaSbⅡ类超晶格材料台面腐蚀[J].红外与毫米波学报,2014,33(5):472-476,5.基金项目
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