高电压技术2014,Vol.40Issue(10):2997-3005,9.DOI:10.13336/j.1003-6520.hve.2014.10.008
大气压射频微等离子体放电结构演化的粒子模拟
PIC-MCC Simulation of the Discharge Structure Evolution in Atmospheric Radio-frequency Microplasmas
摘要
关键词
大气压气体放电/射频微等离子体/放电结构/粒子模拟/二次电子/电子能量概率函数Key words
atmospheric pressure discharges/radio-frequency microplasma/discharge structures/PIC-MCC simulation/secondary electrons/electron energy probability function引用本文复制引用
张远涛,刘冰,葛蕾..大气压射频微等离子体放电结构演化的粒子模拟[J].高电压技术,2014,40(10):2997-3005,9.基金项目
国家自然科学基金(11375107) (11375107)
山东大学自主创新基金(2012TS067).Project supported by National Natural Science Foundation of China (11375107),Independent Innovation Foundation of Shandong University (2012TS067). (2012TS067)