人工晶体学报2014，Vol.43Issue(10)：2630-2634,5.
氧气流量对MPCVD制备微/纳米双层金刚石膜的影响
Influence of O2 Flow Rate on Micro-Nanocrystalline Dual Layer Diamond Films Prepared by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition
摘要
关键词
MPCVD/微/纳米/金刚石膜/氧气流量Key words
MPCVD / micro/nanocrystalline / diamond film / O2 flow rate分类
数理科学引用本文复制引用
刘聪,汪建华,吕琳,翁俊..氧气流量对MPCVD制备微/纳米双层金刚石膜的影响[J].人工晶体学报,2014,43(10):2630-2634,5.基金项目
国家自然科学基金(11175137) （11175137）
