人工晶体学报2014，Vol.43Issue(10)：2761-2766,6.
热丝化学气相沉积微晶硅薄膜结构及性质研究
Study on Structures and Properties of Microcrystalline Silicon Films Prepared by Hot Wire Chemical Vapor Deposition
摘要
关键词
微晶硅薄膜/化学气相沉积/热丝Key words
microcrystalline silicon thin film/ chemical vapor deposition/ hot wire分类
数理科学引用本文复制引用
高玉伟,周炳卿,张林睿,张龙龙..热丝化学气相沉积微晶硅薄膜结构及性质研究[J].人工晶体学报,2014,43(10):2761-2766,6.基金项目
国家自然科学基金(51262022) （51262022）
内蒙古师范大学“十百千”人才工程项目(RCPY-2-2012-K-041) （RCPY-2-2012-K-041）
内蒙古师范大学2012年度研究生科研创新基金(CXJJS12034) （CXJJS12034）
