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一种检测单晶炉热场温度的新方法

张新雨 刘丁 汪姣 李琦

控制理论与应用2014,Vol.31Issue(10):1310-1317,8.
控制理论与应用2014,Vol.31Issue(10):1310-1317,8.DOI:10.7641/CTA.2014.31084

一种检测单晶炉热场温度的新方法

A new method for measuring heat zone temperature of single crystal furnace

张新雨 1刘丁 1汪姣 1李琦1

作者信息

  • 1. 西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安710048
  • 折叠

摘要

关键词

单晶炉/热场温度检测/低频干扰/跨维模拟退火/最大似然准则/AIC准则/最小二乘法

Key words

single crystal furnace/heat zone temperature measurement/low frequency interference/trans-dimensional simulated annealing/maximum likelihood criterion/Akaike information criterion/least square

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张新雨,刘丁,汪姣,李琦..一种检测单晶炉热场温度的新方法[J].控制理论与应用,2014,31(10):1310-1317,8.

基金项目

国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02011001) (2009ZX02011001)

国家自然科学基金资助项目(61075044) (61075044)

教育部博士点基金(优先发展领域)资助项目(20136118130001). (优先发展领域)

控制理论与应用

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-8152

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