无机材料学报2014，Vol.29Issue(11)：1223-1227,5.DOI:10.15541/jim20140309
单靶磁控溅射制备铜铟硒和铜铟锌硒薄膜及其结构、光学性质研究
Structure and Optical Properties of CuInSe2 and Cu0.9In0.9Zn0.2Se2 Thin Films Deposited by One-step Radio-frequency Magnetron Sputtering
摘要
关键词
磁控溅射/铜铟锌硒/锌掺杂Key words
magnetron sputtering/ CIZS thin film/ Zn doping分类
化学化工引用本文复制引用
王伟君,何俊,张克智,陶加华,孙琳,陈晔,杨平雄,褚君浩..单靶磁控溅射制备铜铟硒和铜铟锌硒薄膜及其结构、光学性质研究[J].无机材料学报,2014,29(11):1223-1227,5.基金项目
Shanghai Committee of Science and Technology(11ZR1411400,10JC1404600) （11ZR1411400,10JC1404600）
National Natural Science Foundation of China (61106064,60990312,61076060) （61106064,60990312,61076060）
