光学精密工程2014，Vol.22Issue(11)：2945-2949,5.DOI:10.3788/OPE.20142211.2945
微机电可调硅基三族氮化物光栅
MEMS-tunable Ⅲ-nitride grating on silicon substrate
摘要
关键词
可调光栅/氮化物光栅/静电驱动器/微机电系统Key words
tunable grating/nitride grating/electro-static actuator/Micro-electrical-mechanical System(MEMS)分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李欣,施政,贺树敏,高绪敏,张苗,王永进..微机电可调硅基三族氮化物光栅[J].光学精密工程,2014,22(11):2945-2949,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.11104147,No.61322112) （No.11104147,No.61322112）
南京邮电大学科研基金资助项目(No.NY211001) （No.NY211001）
上海微系统与信息技术研究所开放课题资助项目(No.BJ211026) （No.BJ211026）
江苏省自然科学基金资助项目(No.BK20130870) （No.BK20130870）
