光学精密工程2014，Vol.22Issue(11)：3004-3011,8.DOI:10.3788/OPE.20142211.3004
固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用
Role of slurry in single crystal sapphire lapping with fixed abrasive pad
摘要
关键词
固结磨料/研磨液/乙二醇/蓝宝石晶片Key words
fixed abrasive/lapping slurry/ethylene glycol/sapphire wafer分类
数理科学引用本文复制引用
王建彬,朱永伟,谢春祥,徐俊,居志兰..固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用[J].光学精密工程,2014,22(11):3004-3011,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51175260) （No.51175260）
江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2010516) （No.BK2010516）
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.NP2012516) （No.NP2012516）
