影像科学与光化学2014，Vol.32Issue(6)：542-549,8.DOI:10.7517/j.issn.1674-0475.2014.06.542
双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构
3D Metallic Micro-spring Fabrication Based on Two-photon Micro/Nano Fabrication Method and Electroless Plating Technique
摘要
关键词
双光子微纳加工技术/化学镀/三维金属微纳米结构Key words
two-photon polymerization/electroless plating technique/three dimensional metallic micro structures引用本文复制引用
贾雁鹏,郑美玲,董贤子,赵震声,段宣明..双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构[J].影像科学与光化学,2014,32(6):542-549,8.基金项目
国家重点基础研究发展规划973项目(2010CB934103)、国家自然科学基金项目(91123032,61205194,61275048,61275171)和中国科学院与日本学术振兴会共同研究项目(GJHZ1411)资助 （2010CB934103）
