强激光与粒子束2014，Vol.26Issue(12)：129-133,5.DOI:10.11884/HPLPB201426.122008
光学元件亚表面缺陷的损伤性检测方法
Destructive methods for detecting subsurface defects of fused silica optics
摘要
关键词
熔石英元件/亚表面缺陷/研磨加工/损伤性检测/亚表面裂纹Key words
fused silica optics/subsurface defects/lapping/destructive detection/subsurface cracks分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王洪祥,李成福,朱本温,王景贺..光学元件亚表面缺陷的损伤性检测方法[J].强激光与粒子束,2014,26(12):129-133,5.基金项目
国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金项目(U1230110) （U1230110）
国家自然科学基金项目(51475106) （51475106）
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金项目(KF14007) （KF14007）
