无机材料学报2014，Vol.29Issue(12)：1233-1240,8.DOI:10.15541/jim20140110
扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用
Applications of Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) in the New Generation of High-K Gate Dielectrics
摘要
关键词
扫描透射电子显微镜/Z-衬度STEM像/高K柵介质材料/界面微结构/综述Key words
scanning transmission electron microscopy (STEM)/Z-contrast STEM images/high-K gate dielectrics/interfacial microstructures/review分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱信华,李爱东,刘治国..扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用[J].无机材料学报,2014,29(12):1233-1240,8.基金项目
国家科技部重大专项(2009ZX02101-4) （2009ZX02101-4）
国家自然科学基金(11174122,11134004)Key Special Program of the Ministry of Science and Technology,China (2009ZX02101-4) （11174122,11134004）
National Natural Science Foundation of China (11174122,11134004) （11174122,11134004）
