液压与气动Issue(11)：15-17,52,4.DOI:10.11832/j.issn.1000-4858.2014.11.004
基于双平面线圈驱动的GMM薄膜微泵
GMM Thin Films Micropump Based on the Double Plane Coil Driving
摘要
关键词
GMM薄膜/制备工艺/双平面线圈/微泵Key words
GMM thin films/processing technology/double plane coil/micropump分类
机械制造引用本文复制引用
寇旗旗,张辉,许亚峰,马思宇,王传礼..基于双平面线圈驱动的GMM薄膜微泵[J].液压与气动,2014,(11):15-17,52,4.基金项目
国家自然科学基金(51075001) （51075001）
安徽省高校自然科学研究重点项目(KJ2012A092) （KJ2012A092）
安徽省重点实验室开放基金(GZKF-201205) （GZKF-201205）
