光学精密工程2014，Vol.22Issue(12)：3354-3359,6.DOI:10.3788/OPE.20142212.3354
均压槽对空气静压轴承微振动的影响
Effect of equalizing groove on small vibration of aerostatic bearings
摘要
关键词
空气静压轴承/均压槽/微振动Key words
aerostatic bearing/equalizing groove/small vibration分类
机械制造引用本文复制引用
陈琦,陈斌,蔡黎明..均压槽对空气静压轴承微振动的影响[J].光学精密工程,2014,22(12):3354-3359,6.基金项目
国家重大科研仪器设备开发专项基金资助项目(No.61227901) （No.61227901）
