人工晶体学报2014，Vol.43Issue(12)：3068-3073,6.
直流电弧等离子体喷射法制备氮化碳薄膜研究
Research on Preparation of Carbon Nitride Films by DC Arc Plasma Jet Method
摘要
关键词
氮化碳/直流电弧等离子体喷射/沉积/刻蚀Key words
carbon nitride / DC arc plasma jet / deposition / etch分类
化学化工引用本文复制引用
孟兆升,相炳坤,王仕杰,李文帅,熊鹰,解晖,余琦佩..直流电弧等离子体喷射法制备氮化碳薄膜研究[J].人工晶体学报,2014,43(12):3068-3073,6.基金项目
国家自然科学基金(51275232) （51275232）
南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金(kfjj201434) （实验室）
南京航空航天大学大学生创新基金(2014CX00617) （2014CX00617）
中央高校基本科研业务费专项资金 （）
