现代科学仪器Issue(6)：44-48,5.
亚微米量级空间分辨力的光反射热成像技术的原理及应用
Principle of Thermoreflectance Imaging Technology with Sub-micro Scale Space Resolution and Its Application
翟玉卫 1梁法国 1吴爱华1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 050051
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摘要
关键词
光反射热成像/微小结构/高空间分辨力/可见光/热成像Key words
Thermoreflectance/ Micro structure/ High space resolution/ Visible light/ Thermography分类
机械制造引用本文复制引用
翟玉卫,梁法国,吴爱华..亚微米量级空间分辨力的光反射热成像技术的原理及应用[J].现代科学仪器,2014,(6):44-48,5.
