人工晶体学报2015，Vol.44Issue(1)：7-12,6.
微波等离子体下GaN的分解与纳米金刚石膜的沉积
Decomposition of GaN and Direct Deposition of Nano-diamond Film in Microwave Plasma
摘要
关键词
氮化镓/分解/微波等离子体化学气相沉积/纳米金刚石膜Key words
GaN / decomposition / MPCVD / nano-diamond film分类
矿业与冶金引用本文复制引用
田寒梅,刘金龙,陈良贤,魏俊俊,黑立富,李成明..微波等离子体下GaN的分解与纳米金刚石膜的沉积[J].人工晶体学报,2015,44(1):7-12,6.基金项目
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国家自然科学基金(51402013) （51402013）
