人工晶体学报2015，Vol.44Issue(1)：38-42,54,6.
衬底温度对磁控共溅射制备的Zn(O,S)薄膜结构和光电性能的影响
Effect of Substrate Temperature on Structure and Photoelectric Properties of Zn(O, S) Thin Films Deposited by Magnetron Co-sputtering
摘要
关键词
Zn(O,S)薄膜/磁控共溅射/衬底温度/光电性能Key words
Zn (O, S) thin film / magnetron co-sputtering/ substrate temperature/ photoelectric property分类
数理科学引用本文复制引用
彭柳军,杨雯,陈小波,自兴发,杨培志,宋肇宁..衬底温度对磁控共溅射制备的Zn(O,S)薄膜结构和光电性能的影响[J].人工晶体学报,2015,44(1):38-42,54,6.基金项目
国家自然科学基金(U1037604) （U1037604）
