人工晶体学报2015，Vol.44Issue(1)：216-220,5.
硬盘微晶玻璃基板化学机械抛光研究
Investigation on Chemical Mechanical Polish of Glass Ceramics Substrate of Hard Disk
摘要
关键词
微晶玻璃/化学机械抛光/表面粗糙度/材料去除率Key words
glass ceramic/ chemical mechanical polishing/ surface roughness/ MRR分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王金普,白林山,储向峰..硬盘微晶玻璃基板化学机械抛光研究[J].人工晶体学报,2015,44(1):216-220,5.基金项目
国家自然科学基金(50975002) （50975002）
教育部高校留学回国人员科研项目 （）
安徽工业大学创新团队项目(TD201204) （TD201204）
