大连工业大学学报2015，Vol.34Issue(1)：60-63,4.
石英基底的ITO薄膜制备及光电性能
Preparation and photoelectric properties of ITO thin films deposited on quartz substrate
摘要
关键词
氧化铟锡薄膜/脉冲磁控溅射/石英Key words
ITO films/ pulsed magnetron sputter/ quartz分类
通用工业技术引用本文复制引用
徐书林,胡志强,张临安,聂铭歧,张海涛..石英基底的ITO薄膜制备及光电性能[J].大连工业大学学报,2015,34(1):60-63,4.基金项目
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2006AA05Z417) （863计划）
辽宁省教育厅重点实验室科技项目(2008S017). （2008S017）
