强激光与粒子束2015，Vol.27Issue(2)：1-5,5.DOI:10.11884/HPLPB201527.024101
220 GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺
Microfabrication of folded waveguide using UV-LIGA for 220 GHz traveling wave tube
摘要
关键词
微加工/折叠波导/UV-LIGA/.行波管Key words
microfabrication/ folded waveguide/ UV-LIGA/ traveling wave tube分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马天军,孙建海,郝保良,李飞,伊福廷,刘濮鲲..220 GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺[J].强激光与粒子束,2015,27(2):1-5,5.基金项目
supported by National Defense Pre-Research Foundation of China (9140A230202) （9140A230202）
