计量学报2015，Vol.36Issue(1)：6-9,4.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2015.01.02
248 nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究
The Research of Nanometer Linewidth Calibration Method Used by 248 nm Ultraviolet Microscope
摘要
关键词
计量学/248 nm/紫外显微镜/线宽校准/栅格标准物质Key words
Metrology/248 nm/Ultraviolet microscope/Linewidth calibration/Pitches standard materials分类
通用工业技术引用本文复制引用
李琪,李伟,施玉书,高思田,李适,王鹤群,尹传祥..248 nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究[J].计量学报,2015,36(1):6-9,4.基金项目
国家科学支撑计划课题(2011BAK15B01 （）
2011BAK15B02) （）
