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镀膜材料对场发射扫描电镜图像的影响

刘紫微 吴伟 华佳捷 林初城 孙程 曾毅

理化检验-物理分册2015,Vol.51Issue(2):92-96,5.
理化检验-物理分册2015,Vol.51Issue(2):92-96,5.

镀膜材料对场发射扫描电镜图像的影响

Effects of Coating Materials on Field Emission Scanning Electron Microscopy Images

刘紫微 1吴伟 1华佳捷 1林初城 1孙程 1曾毅1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050
  • 折叠

摘要

关键词

场发射扫描电镜/镀膜材料/介孔材料/荷电现象

Key words

FE-SEM/ coating material/ mesoporous material/ charging phenomenon

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘紫微,吴伟,华佳捷,林初城,孙程,曾毅..镀膜材料对场发射扫描电镜图像的影响[J].理化检验-物理分册,2015,51(2):92-96,5.

基金项目

上海市科学技术委员会科研计划纳米技术资助项目(11nm0506900) (11nm0506900)

中国科学院上海硅酸盐研究所科技创新重点项目(Y37ZC4141G) (Y37ZC4141G)

上海市无机非金属材料分析测试表征专业技术服务平台资助项目(14DZ2292900) (14DZ2292900)

理化检验-物理分册

1001-4012

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