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Ar对微波等离子体CVD单晶金刚石生长的影响

林晓棋 满卫东 吕继磊 张玮 江南

人工晶体学报2015，Vol.44Issue(2)：337-341,5.
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人工晶体学报2015，Vol.44Issue(2)：337-341,5.

Ar对微波等离子体CVD单晶金刚石生长的影响

Effect of Argon Addition on Single Crystal Diamond Synthesized by Microwave Plasma CVD

林晓棋 1满卫东 2吕继磊 1张玮 2江南1

作者信息

  • 1. 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉430073
  • 2. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所,宁波315201
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摘要

关键词

MPCVD/单晶金刚石/Ar

Key words

MPCVD / single crystal diamond / Ar

分类

数理科学

引用本文复制引用

林晓棋,满卫东,吕继磊,张玮,江南..Ar对微波等离子体CVD单晶金刚石生长的影响[J].人工晶体学报,2015,44(2):337-341,5.

基金项目

国家自然科学基金(11175137) （11175137）

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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