人工晶体学报2015，Vol.44Issue(2)：374-379,6.
氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响
Influence of H2 Concentration on Nitrogen-doped Ultra-nanocrystalline Diamond Thin Films
摘要
关键词
超纳米金刚石/氢气浓度/微波等离子体化学气相沉积/导电性Key words
ultra-nanocrystalline diamond / hydrogen concentration / MPCVD / conductivity分类
数理科学引用本文复制引用
吕琳,汪建华,翁俊,张莹,崔晓慧..氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响[J].人工晶体学报,2015,44(2):374-379,6.基金项目
国家自然科学基金(11175137) （11175137）
