光学精密工程2015，Vol.23Issue(1)：10-14,5.DOI:10.3788/OPE.20152301.0010
氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜
Preparation of Co/Ti multilayer in soft X-ray region by nitrogen reactive sputtering
摘要
关键词
Co/Ti多层膜/磁控溅射/反应溅射/同步辐射/反射率Key words
Co/Ti multilayer film/magnetron sputtering/reactive sputtering/synchronous radiation/reflectivity分类
数理科学引用本文复制引用
朱京涛,岳帅鹏,涂昱淳,张一志..氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜[J].光学精密工程,2015,23(1):10-14,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.11375131,No.11305104) （No.11375131,No.11305104）
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB922203) （No.2011CB922203）
