光学精密工程2015，Vol.23Issue(3)：745-752,8.DOI:10.3788/OPE.20152303.0745
大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进
Analysis and improvement of rod structures for large diffraction grating ruling engines
摘要
关键词
光栅刻划机/衍射光纤/双拉杆结构/单拉杆结构/石英导轨Key words
grating ruling engine/diffraction optical fiber/double-rod structure/single-rod structure/quartz guide rail分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
糜小涛,于宏柱,于海利,姚雪峰,宋楠,冯树龙,齐向东..大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进[J].光学精密工程,2015,23(3):745-752,8.基金项目
国家重大科研装备研制项目(No.ZBY2008-1) （No.ZBY2008-1）
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023) （No.11YQ120023）
吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005) （No.09ZDGG005）
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2014CB049500) （No.2014CB049500）
长春市科技计划资助项目(No.Y3B43HU140) （No.Y3B43HU140）
