光学精密工程2015,Vol.23Issue(3):784-793,10.DOI:10.3788/OPE.20152303.0784
光强正交调制型位移传感器的数学模型与误差分析
Mathematical model and error analysis of light intensity orthogonal modulation type displacement sensor
摘要
关键词
光电位移传感器/交变光场/线性位移/驻波调制/电行波/误差分析Key words
photoelectric displacement sensor/orthogonal variable light field/linear displacement/standing wave modulation/electrical traveling wave/error analysis分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
付敏,彭东林,朱革,陈锡侯,昌驰..光强正交调制型位移传感器的数学模型与误差分析[J].光学精密工程,2015,23(3):784-793,10.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51127001) (No.51127001)
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2012AA041202) (No.2012AA041202)
重庆市“两江学者”计划专项资助项目 ()