硅酸盐学报2015，Vol.43Issue(4)：451-457,7.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.2015.04.13
热处理工艺对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al薄膜光电性能的影响
Influence of Heat Treatment on Electro-optical Properties of Al-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method
摘要
关键词
铝掺杂氧化锌薄膜/热处理/光电性能/溶胶-凝胶法Key words
aluminum doped zinc oxide films/heat treatment/electro-optical property/sol-gel method分类
通用工业技术引用本文复制引用
彭寿,金良茂,王芸,汤永康,甘治平,王东,石丽芬,单传丽..热处理工艺对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al薄膜光电性能的影响[J].硅酸盐学报,2015,43(4):451-457,7.基金项目
国家“973”计划(2012CB724608)资助项目. （2012CB724608）
