光学精密工程2015，Vol.23Issue(4)：934-940,7.DOI:10.3788/OPE.20152304.0934
用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法
Mechanical error compensation algorithm for subaperture stitching interferometry
摘要
关键词
拼接干涉检测/子孔径拼接/机械定位误差/补偿算法/大口径平面镜Key words
stitching interferometry/subaperture stitching/positioning system error/compensation algorithm/large aperture flat mirror分类
矿业与冶金引用本文复制引用
张敏,隋永新,杨怀江..用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法[J].光学精密工程,2015,23(4):934-940,7.基金项目
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205) （No.2009ZX02205）
