光学精密工程2015，Vol.23Issue(4)：1019-1026,8.DOI:10.3788/OPE.20152304.1019
大口径非球面光学研抛压力控制系统
Polishing pressure control system for large caliber aspherical optics
摘要
关键词
大口径非球面/光学研抛/研抛压力/压力控制/PID控制Key words
large caliber aspheric/optical polishing/polishing pressure/pressure control/PID control分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
范敏,刘凤,王佩,石为人..大口径非球面光学研抛压力控制系统[J].光学精密工程,2015,23(4):1019-1026,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61473050) （No.61473050）
重庆市科技攻关资助项目(No.CSTC2012GG-YYJS40008) （No.CSTC2012GG-YYJS40008）
