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膜厚对射频磁控溅射法制备的SnS薄膜结构和光学性质的影响

余亮 梁齐 刘磊 马明杰 史成武

发光学报2015,Vol.36Issue(4):429-436,8.
发光学报2015,Vol.36Issue(4):429-436,8.DOI:10.3788/fgxb20153604.0429

膜厚对射频磁控溅射法制备的SnS薄膜结构和光学性质的影响

Effect of Thickness on The Structure and Optical Properties of SnS Films Fabricated by RF Magnetron Sputtering

余亮 1梁齐 1刘磊 1马明杰 1史成武2

作者信息

  • 1. 合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥230009
  • 2. 合肥工业大学化学与化工学院,安徽合肥230009
  • 折叠

摘要

关键词

SnS薄膜/射频磁控溅射/膜厚/晶体结构/光学性质

Key words

SnS thin film/RF magnetron sputtering/film thickness/crystalline structure/optical properties

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

余亮,梁齐,刘磊,马明杰,史成武..膜厚对射频磁控溅射法制备的SnS薄膜结构和光学性质的影响[J].发光学报,2015,36(4):429-436,8.

基金项目

国家自然科学基金(51272061)资助项目 (51272061)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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