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高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶

史玉芬 周学芹 李坤 刘小利

人工晶体学报2015,Vol.44Issue(4):967-971,5.
人工晶体学报2015,Vol.44Issue(4):967-971,5.

高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶

Synthesis of Diamond Single Crystal by MPCVD at High Gas Pressure and High Microwave Power

史玉芬 1周学芹 2李坤 1刘小利2

作者信息

  • 1. 常州大学材料科学与工程学院,常州213164
  • 2. 常州宝颐金刚石科技有限公司,常州213022
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石单晶/沉积速率/MPCVD

Key words

diamond single crystal / growth rate / MPCVD

分类

化学化工

引用本文复制引用

史玉芬,周学芹,李坤,刘小利..高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶[J].人工晶体学报,2015,44(4):967-971,5.

基金项目

国家自然科学基金(51372044) (51372044)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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