人工晶体学报2015,Vol.44Issue(4):967-971,5.
高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶
Synthesis of Diamond Single Crystal by MPCVD at High Gas Pressure and High Microwave Power
摘要
关键词
金刚石单晶/沉积速率/MPCVDKey words
diamond single crystal / growth rate / MPCVD分类
化学化工引用本文复制引用
史玉芬,周学芹,李坤,刘小利..高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶[J].人工晶体学报,2015,44(4):967-971,5.基金项目
国家自然科学基金(51372044) (51372044)