氧氩比对Ti掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响

高倩黄美东王小龙张建鹏王萌萌陈泽昊王宇

天津师范大学学报（自然科学版）2015，Vol.35Issue(2)：37-41,5.

Influence of oxygen/argon ratio on structure and optoelectric properties of ZnO ∶ Ti films

高倩 ¹黄美东 ¹王小龙 ¹张建鹏 ¹王萌萌 ¹陈泽昊 ¹王宇¹

作者信息

ZnO∶Ti薄膜/磁控溅射/光电性能/氧氩比

数理科学

高倩,黄美东,王小龙,张建鹏,王萌萌,陈泽昊,王宇..氧氩比对Ti掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2015,35(2):37-41,5.

国家自然科学基金资助项目(61078059). （61078059）

OACSTPCD

ISSN：1671-1114

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