常州大学学报（自然科学版）2015，Vol.27Issue(2)：35-38,4.DOI:10.3969/j.issn.2095-0411.2015.02.008
热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响
Effect of Annealing on the Performance of Microscale Magnetostrictive Sensors
摘要
关键词
磁致伸缩材料/传感器/MEMS/退火/内应力Key words
magnetostrictive materials/sensors/MEMS/annealing/internal stresses分类
矿业与冶金引用本文复制引用
胡佳佳,叶雪梅,胡静..热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响[J].常州大学学报（自然科学版）,2015,27(2):35-38,4.基金项目
国家自然科学基金(51271039). （51271039）
