质谱学报2015，Vol.36Issue(3)：282-288,7.DOI:10.7538/zpxb.youxian.2015.0005
TOF-SIMS样品光学成像系统设计
Design of TOF-SIMS's Sample Optical Imaging System
摘要
关键词
成像系统/Schwarzschild双反射系统/ZEMAX/飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)Key words
imaging system/Schwarzschild double reflection system/ZEMAX/time of flight-secondary ion mass spectrometer (TOF-SIMS)分类
机械制造引用本文复制引用
王培智,田地,包泽民,龙涛,张玉海,邱春玲,刘敦一..TOF-SIMS样品光学成像系统设计[J].质谱学报,2015,36(3):282-288,7.基金项目
国家重大科学仪器设备开发专项《同位素地质学专用TOF-SIMS科学仪器》之任务二(2011YQ05006902)资助 （2011YQ05006902）
