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侧壁粗糙度与几何结构对 SOI 脊形波导损耗的影响

刘军 刘金良 陈亮 张忠兵 刘林月

现代应用物理2015,Vol.6Issue(1):37-41,5.
现代应用物理2015,Vol.6Issue(1):37-41,5.

侧壁粗糙度与几何结构对 SOI 脊形波导损耗的影响

Effects of Sidewall-Roughness and Geometry on Scattering Loss of SOI Rib Waveguide

刘军 1刘金良 2陈亮 1张忠兵 1刘林月1

作者信息

  • 1. 西北核技术研究所,西安710024
  • 2. 国防科技大学 机电工程与自动化学院,长沙410073
  • 折叠

摘要

关键词

集成光学/脊形波导/散射损耗/粗糙度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘军,刘金良,陈亮,张忠兵,刘林月..侧壁粗糙度与几何结构对 SOI 脊形波导损耗的影响[J].现代应用物理,2015,6(1):37-41,5.

现代应用物理

2095-6223

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