强激光与粒子束2015，Vol.27Issue(6)：118-122,5.DOI:10.11884/HPLPB201527.062001
软X射线Mo/B4C多层膜应力和热稳定性研究
Stress and thermal properties of Mo/B4C multilayers in soft X-rays
摘要
关键词
软X射线/Mo/B4C/直流磁控溅射/应力/热稳定性Key words
soft X-rays/Mo/B4C/DC magnetron sputtering/stress/thermal stability分类
数理科学引用本文复制引用
徐德超,王海霞,张众,朱杰,连玉红,王占山..软X射线Mo/B4C多层膜应力和热稳定性研究[J].强激光与粒子束,2015,27(6):118-122,5.基金项目
国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金项目(U1430131) （U1430131）
上海市科委纳米项目(11nm0507200) （11nm0507200）
