人工晶体学报2015，Vol.44Issue(5)：1207-1212,6.
直拉硅单晶中双空洞长大动力学的相场模拟
Phase-field Simulation for the Growth Dynamics of Double Voids during Czochralski Silicon Crystal Growth
摘要
关键词
硅单晶/直拉法生长/相场模拟/双空洞/长大动力学Key words
silicon crystal/Czochralski process/phase-field simulation/double voids/growth dynamic分类
数理科学引用本文复制引用
关小军,王进,张向宇,曾庆凯..直拉硅单晶中双空洞长大动力学的相场模拟[J].人工晶体学报,2015,44(5):1207-1212,6.基金项目
山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题(KF1303) （KF1303）
