人工晶体学报2015,Vol.44Issue(5):1266-1270,1299,6.
衬底温度对硼掺杂ZnO薄膜微观结构及其光电特性的影响
Influence of Substrate Temperature on the Microstructure and Photoelectric Properties of Boron Doped ZnO Thin Film
摘要
关键词
ZnO∶B薄膜/磁控溅射/光电特性Key words
ZnO∶B thin film/magnetron sputtering/photoelectric property分类
数理科学引用本文复制引用
王何美,朱华,冯晓炜,况慧芸,王艳香..衬底温度对硼掺杂ZnO薄膜微观结构及其光电特性的影响[J].人工晶体学报,2015,44(5):1266-1270,1299,6.基金项目
国家自然科学基金(51102122) (51102122)
江西省自然科学基金(20142BAB206008) (20142BAB206008)
江西省教育厅科技项目(GJJ14646) (GJJ14646)