测控技术2015，Vol.34Issue(6)：9-12,4.
电涡流位移传感器在微间隙测量中的特殊应用
Special Application of Eddy Current Displacement Sensor in Micro-Gap Measurements
程家军1
作者信息
- 1. 中国工程物理研究院总体工程研究所,四川绵阳621999
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摘要
关键词
电涡流位移传感器/静态间隙/动态响应/标定Key words
eddy current displacement sensor/static state gap/dynamic response/calibration分类
机械制造引用本文复制引用
程家军..电涡流位移传感器在微间隙测量中的特殊应用[J].测控技术,2015,34(6):9-12,4.
