计量学报2014，Vol.35Issue(z1)：14-18,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.04
二维光学标准器校准影像测量仪方法研究
Image Measuring Instrument Calibration with Two-dimensional Optical Standard
摘要
关键词
计量学/二维光学标准器/探测误差/尺寸测量误差/掩膜板/测量不确定度Key words
Metrology/Two-dimensional optical standard/Probing error/Length measurement error/Photomask/Measurement uncertainty分类
通用工业技术引用本文复制引用
孙双花,薛梓,王鹤岩..二维光学标准器校准影像测量仪方法研究[J].计量学报,2014,35(z1):14-18,5.基金项目
国家自然科学基金(51305416) （51305416）
