控制理论与应用2015，Vol.32Issue(5)：655-664,10.DOI:10.7641/CTA.2015.40780
晶圆重入加工的组合设备终止暂态的调度与分析
Scheduling and analysis of final transient process for cluster tools with wafer revisiting
摘要
关键词
晶圆制造/组合设备/重入加工/Petri网/建模/调度/仿真Key words
wafer fabrication/cluster tools/revisiting/Petri net/modeling/scheduling/simulation分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
潘春荣,黎良..晶圆重入加工的组合设备终止暂态的调度与分析[J].控制理论与应用,2015,32(5):655-664,10.基金项目
国家自然科学基金项目(71361014)资助.Supported by Natural Science Foundation of China (71361014). （71361014）
