人工晶体学报2015，Vol.44Issue(6)：1516-1522,7.
射频磁控溅射低温制备ITO薄膜
Preparation of ITO Thin Films by RF Magnetron Sputtering at Low Temperature
摘要
关键词
ITO薄膜/射频磁控溅射/电阻率Key words
ITO thin film/RF magnetron sputtering/resistivity分类
数理科学引用本文复制引用
王秀娟,司嘉乐,杨德林,谷锦华,卢景霄..射频磁控溅射低温制备ITO薄膜[J].人工晶体学报,2015,44(6):1516-1522,7.基金项目
国家高技术研究发展计划(863计划)(2011AA050501) （863计划）
