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基于ChemCAD软件对三氯氢硅精馏的模拟

宋安宁

科技创新与应用Issue(36)：35-35,36,2.
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科技创新与应用Issue(36)：35-35,36,2.

基于ChemCAD软件对三氯氢硅精馏的模拟

宋安宁1

作者信息

  • 1. 陕西天宏硅材料有限责任公司，陕西 咸阳 712038
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摘要

关键词

ChemCAD/多晶硅/三氯氢硅/精馏塔/模拟

引用本文复制引用

宋安宁..基于ChemCAD软件对三氯氢硅精馏的模拟[J].科技创新与应用,2014,(36):35-35,36,2.

科技创新与应用

2095-2945

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