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磁控溅射技术的原理与发展

王俊 郝赛

科技创新与应用Issue(2)：35-35,1.
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科技创新与应用Issue(2)：35-35,1.

磁控溅射技术的原理与发展

王俊 1郝赛1

作者信息

  • 1. 山东大学 材料科学与工程学院，山东 济南 250002
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摘要

关键词

镀膜技术/磁控溅射/平衡磁控溅射/非平衡磁控溅射

引用本文复制引用

王俊,郝赛..磁控溅射技术的原理与发展[J].科技创新与应用,2015,(2):35-35,1.

科技创新与应用

2095-2945

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